科学仪器设备是科学研究和技术创新的基石，是经济社会发展和国防安全的重要保障。为切实提升我国科学仪器设备的自主创新能力和装备水平，促进产业升级发展，支撑创新驱动发展战略的实施，经国家科技计划战略咨询与综合评审特邀委员会、国家科技计划管理部际联席会审议，“重大科学仪器设备开发”重点专项已于2016年度启动，并正式进入实施阶段。
一、指导原则与主要目标本专项紧扣我国科技创新、经济社会发展对科学仪器设备的重大需求，充分考虑我国现有基础和能力，在继承和发展“十二五”国家重大科学仪器设备开发专项成果的基础上，坚持政府引导、企业主导，立足当前、着眼长远，整体推进、重点突破的原则，以关键核心技术和部件的自主研发为突破口，聚焦高端通用科学仪器设备和专业重大科学仪器设备的仪器开发、应用开发、工程化开发和产业化开发，带动科学仪器系统集成创新，有效提升我国科学仪器设备行业整体创新水平与自我装备能力。
通过本专项的实施，构建“仪器原理验证→关键技术研发(软硬件)→系统集成→应用示范→产业化”的国家科学仪器开发链条，完善产学研用融合、协同创新发展的成果转化与合作模式，激发行业、企业活力和创造力。强化技术创新和产品可靠性、稳定性实验，引入重要用户应用示范、拓展产品应用领域，大幅提升我国科学仪器行业可持续发展能力和核心竞争力。
本专项按照全链条部署、一体化实施的原则，共设置了关键核心部件、高端通用科学仪器和专业重大科学仪器3类任务，本指南为重大科学仪器设备开发专项2018年度指南，拟支持53个研究方向，经费总概算约为6亿元。
1. 专项定位本专项充分利用国家科技计划(专项、基金)或其他渠道，已取得的相关检测原理、方法、技术或科研装置，开展系统集成、应用开发和工程化开发，形成具有自主知识产权、“皮实耐用”和功能丰富的重大科学仪器设备产品，并服务科学研究和经济社会发展。项目成果是以市场前景广泛的关键核心部件和重大科学仪器设备产品的开发和产业化应用为目标(一般的核心部件与科学仪器的原理和方法研究，商业化前景不明确的核心部件与仪器研制等工作，以及临床医疗仪器、生产设备、机械装备、平台建设等，不属于本专项的支持方向)。
2. 申报主体结合本专项的特点和定位，本指南所设项目均由有条件的企业牵头申报。鼓励企业结合国家需求和自身发展需要，联合科研院所和高等学校的优势力量参与项目研发工作(主要为企业提供所需的技术支撑)，建立目标任务明确、产权和利益分配明晰的产学研用结合机制。同时，要采取有效措施，切实发挥企业在专项中的技术创新决策、研发投入、项目实施组织和成果转化等方面的主体地位作用。
3. 支持方式本专项每个指南方向可支持1～2个项目(对评审结果相近且技术路线明显不同的同一指南方向先期可支持2项，经中期评估后择优支持)。所有立项项目通过技术评审和非技术评审，且实施“后端资助”机制和“限额资助”机制。“后端资助”，即结合科学仪器开发的特点，以及我国科学仪器产业发展现状，强化风险共担机制，在任务书约定的中期节点前主要由承担单位自筹经费实施，资助20%的国拨经费。经中期评估，对达到预期目标、组织管理和经费使用规范的项目，再按计划给予支持。“限额资助”，即根据专项总概算和评审立项情况，分别设定核心关键部件和整机的国拨经费资助额度上限。
(1)国内外需求迫切，目标仪器设备应用单位明确且具有代表性，相关原理、方法或技术已取得重要突破，能形成具有自主知识产权和市场竞争力的核心部件与科学仪器产品。
(2)目标核心部件与仪器设备整体设计完整、结构清晰合理，技术路线(含软件开发)可行，工程化方案、应用开发方案可操作性强;项目质量管理和产业化策划、企业资质和能力、知识产权和利益分配等非技术内容可行。
(3)拥有本领域的核心关键人才，且具有相关理论研究、设计、工程工艺、系统集成、应用研究以及产业化研究等相关方面结构合理的人员队伍。
(4)对核心部件类项目：原则上承担单位主营业务为核心部件生产企业，项目实施后能够获得全部自主知识产权，技术就绪度达到9级，并在相关仪器主要生产企业得到广泛应用，形成一定市场规模，产生直接经济效益。
(5)对仪器整机类项目：根据科学仪器设备开发和应用的自身规律，每一个项目应包括仪器开发(含软件开发)、应用开发、工程化开发(含可靠性开发)和产业化开发等类型工作。除仪器设备开发单位外，产业化单位、应用单位也应从项目设计开始，全程参与项目的组织和实施工作。项目验收时，目标仪器技术就绪度达到8级，可形成一定市场规模，产生直接经济效益。
(1)在中国境内注册1年以上，具有较强科学仪器设备研发和产业化能力，运行管理规范，具有独立法人资格;
(5)与项目参与单位事先签署具有法律约束力的协议，明确任务分工、专项经费分配、成果和知识产权归属及利益分配机制;
(6)企业投入的自筹研发经费与国拨经费投入比例不低于1:1。自筹研发经费和国拨经费均应用于项目研发活动，不得用于生产线、厂房等产业化能力建设。
(1)项目推荐单位要加强本部门、本地区、本行业领域科学仪器设备发展的顶层设计、资源整合和扶持培育。
(2)项目推荐单位要组织项目牵头单位，会同产、学、研、用等各方面，积极开展项目设计和策划工作。在项目设计时，既要注重技术问题，也要注重工程化和产业化策划、企业资质和能力以及知识产权和利益分配机制等非技术问题。
(3)项目推荐单位要督促项目承担单位在项目提出时落实法人负责制、落实项目配套条件;督促项目承担单位联合优势力量共同开展项目设计和实施。
(4)项目推荐单位在组织推荐过程中要充分发挥专家的咨询作用。除考虑技术可行性外，还应重点关注工程化和产业化策划、企业资质和能力以及知识产权和利益分配机制等非技术内容。在此基础上，择优推荐项目。
1. 核心关键部件开发与应用共性考核指标：目标产品应通过可靠性测试和第三方异地测试，技术就绪度达到9级;至少应用于2类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.1 微焦X射线源用菲涅耳透镜研究目标：开发微焦X射线源用菲涅耳透镜，突破纳米尺度微结构的高深宽比加工技术难题，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在同步辐射、显微CT、软X射线成像等仪器中的应用。
考核指标：最外环宽度≤，环高≥;最外环宽度≤40nm@9keV，环高≥700nm@9keV;衍射效率≥1%@9keV;X射线nm。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时;技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.2 S波段高功率微波源研究目标：开发S波段高功率微波源，突破高压电子枪、高功率容量输出窗术，解决高功率微波源工作稳定性难题，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在高能对撞机、同步辐射光源、自由电子激光装置、辐射成像装置、辐照加速器等仪器装置中的应用。
考核指标：频率范围1.55~3.4GHz;带宽2MHz;最大输出功率≥50MW;脉冲宽度2μs;脉冲重复频率≥50Hz;效率≥55%;增益≥50dB。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时;技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.3 太赫兹倍频源研究目标：开发太赫兹倍频源，突破太赫兹倍频电路设计与精密制造技术，采用国产倍频芯片，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在太赫兹信号发生器、太赫兹矢量网络分析仪、太赫兹安全检测仪、太赫兹成像仪等仪器中的应用。
考核指标：3倍频输出频率范围0.325~0.5THz，最大输出功率≥-10dBm，倍频损耗≤20dB;4倍频输出频率范围0.5~0.75THz，最大输出功率≥-20dBm，倍频损耗≤25dB;4倍频输出频率范围0.75 ~1.1THz，最大输出功率≥-30dBm，倍频损耗≤30dB。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时;技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.4 通用高精度匀场超导磁体研究目标：开发通用高精度匀场超导磁体，突破大口径超导强磁体加工和高精度匀场设计等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在量子振荡检测仪、核磁谱仪、磁致冷和强磁场材料处理装置等仪器中的应用。
考核指标：磁场强度≥18T;孔径≥60mm;磁场相对不均匀度≤10-4@直径10mm内;磁场不稳定度≤10-5/h。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时;技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.5 双曲面线性离子阱研究目标：开发双曲面线性离子阱，突破双曲线形电极加工和四电极高精度平行绝缘装配等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在离子阱质谱仪、大型离子反应仪等仪器中的应用。
考核指标：电极长度≥100mm;双曲面电极表面粗糙度Ra≤0.1μm;双曲面线μm;离子阱综合几何精度≤5μm;质量范围50~4000amu;相对质量分辨率≤0.5amu(2000amu范围内)。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时;技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.6 宽光谱高灵敏电子倍增CCD成像探测器研究目标：开发宽光谱高灵敏电子倍增CCD成像探测器，突破高灵敏光生电荷采集结构制备关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在高灵敏度显微镜、微光探测仪、光谱分析仪等仪器中的应用。
考核指标：波长范围260~1000nm;像元数目≥1024×1024，像元尺寸≤13µm×13µm;倍增增益≥1000;最高信噪比≥45dB;峰值量子效率≥80%;暗电荷≤350e/pixel/s(常温);最高输出帧频≥10fps。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时;技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.7 太赫兹混频探测器研究目标：开发太赫兹混频探测器，突破太赫兹混频电路设计与精密制造等关键技术，采用国产混频芯片，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在太赫兹矢量网络分析仪、太赫兹频谱分析仪、太赫兹安全检测仪、太赫兹成像仪等仪器中的应用。
考核指标：2次谐波混频频率范围0.325~0.5THz，中频频率范围20~300MHz，变频损耗≤17dB;4次谐波混频频率范围0.5~0.75THz，中频频率范围20~300MHz，变频损耗≤30dB;4次谐波混频频率范围0.75~1.1THz，中频频率范围20~ 300MHz，变频损耗≤35dB。产品完成时应通过可靠性测。
